TORAY东丽 LD-600/SD25NW-2 通信氧气浓度计
氧化锆 EtherCAT 氧气浓度计LD-600/SD传感器
低于 10 ppm
10 ppm 或更多
1000 ppm（0.1%）或更多
负压/大气压
直流电源
EtherCAT
CE标志
LD-600/SD EtherCAT 通信氧气浓度计，是本公司在半导体和电子行业用氧气浓度计领域积累的多年制造经验，专为真空设备等开发而成浓度计 。本产品配备
本公司独有的小型氧化锆传感器，可长期稳定地进行高精度测量，并配备氧气传感器保护机制，实现了超越以往产品的耐用性浓度计 。此外，由于氧气传感器和转换单元采用分离式设计，因此非常适合集成到需要更高速的设备和应用中。
产品规格
设备规格
形状
分离型（转换器：固定/壁挂式浓度计 ，传感器：直插式）
显示方式
无显示
测量范围
0.001 ppm 至 100%（10 -20至 10 -0 atm 设置可选）
以 ppm 为单位的浮点输出
传感器连接
ISO真空法兰NW16、25、40
或R3/8螺纹
联系
转换器与传感器之间的连接是通过专用线进行的浓度计 ，
标准长度为2m，最长可达10m浓度计 。
参考气体
气氛
大量的
转换器
LD-600：约0.8公斤
传感器
SD16NW：约0.2公斤
SD25NW：约0.2公斤
SD40NW：约0.35公斤
外形尺寸
LD-600：65（宽）x 130（高）x 125（深）
（单位：mm浓度计 ，不包括突出部分）
SD16NW：总长100mm（检测部φ11 x 39、主体部φ40 x 51）
SD25NW：总长100mm（检测部φ11 x 42、主体部φ40 x 48）
SD40NW：总长100mm（检测不φ11 x 41、主体部φ40 x 49）
（单位：mm浓度计 ，不含突起部分）
注：传感器单元将为SD16NW、SD25NW或SD40NW之一，具体取决于客户对每个检测部分的规格浓度计 。
特征
重复性
0 至 1% 范围以上：±0.5%FS 以下
0 至 1% 范围以下：±1.0%FS 或±0.1ppm浓度计 ，取较大者 *
不保证低于 0 至 1ppm 的范围
气点稳定性
±1%FS以下/24小时
预热时间
6分钟内
工程规格
通信输出规格
通信方式：EtherCAT I/F（符合 ETG 5003.1、ETG5003.2）
配置文件：通用设备配置文件
协议：兼容 ETG 5003.1 CDP（CoE、FoE）
氧气条件
请勿在还原性气氛中使用浓度计 。此外，如果测量气体的比热容较高，例如高浓度氦气，则可能无法使用。
温度：0～100℃
压力：10-3Pa ～ 200kPa（绝对压力） 湿度
：露点低于环境温度
流量：0.5～5L/min或0L/min（测量将处于自然扩散状态）
电源
电源：DC24V、3A
功耗：80VA（稳定状态：30VA）
安装条件
安装位置：室内浓度计 ，非防爆区域
环境温度：转换器：0 至 40°C
传感器单元：0 至 50°C
环境湿度：35 至 80% RH（无凝结）
安装温度：转换器：0 至 40°C
传感器单元：0 至 100°C
不得含有易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分