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无锡云亭石墨烯技术取得一种MEMS传感器芯片结构专利 压缩MEMS传感器芯片的厚度:传感器
金融界2025年8月25日消息，国家知识产权局信息显示，无锡云亭石墨烯技术有限公司取得一项名为“一种MEMS传感器芯片结构”的专利，授权公告号CN223254917U，申请日期为2024年11月传感器
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敏芯股份获得实用新型专利授权：“MEMS传感器封装结构”:传感器
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“MEMS传感器封装结构”，专利申请号为CN202422724915.9，授权日为2025年11月7日
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