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无锡云亭石墨烯技术取得一种MEMS传感器芯片结构专利压缩MEMS传感器芯片的厚度:传感器

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金融界2025年8月25日消息，国家知识产权局信息显示，无锡云亭石墨烯技术有限公司取得一项名为“一种MEMS传感器芯片结构”的专利，授权公告号CN223254917U，申请日期为2024年11月传感器

2025-11-07

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